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Laboratório de Sistemas Integráveis (LSI) Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos Universidade de São Paulo
07/06/2018

GSIDE – Engenharia de Superfícies, Interfaces e Deposição

Coordenador: Prof. Dr. Sebastião Gomes dos Santos Filho

As atividades do GSIDE inserem-se dentro da linha de pesquisa “Dispositivos MOS, Materiais e Processos” e referem-se a:

Desenvolvimento de técnicas de deposição eletroquímica;
Modelos eletroquímicos para a deposição de metais e simulação estrutural e química das terminações superficiais;
Estudos de limpeza para lâminas de silício visando a obtenção de nanofios e estruturas MOS;
Medida das concentrações superficiais de contaminantes metálicos e rugosidades através da técnica TXRF e espalhamento de luz LASER, respectivamente;
Obtenção de dielétricos de porta de alta constante dielétrica;
Sensores para detecção de espécies químicas utilizando filmes obtidos por deposição eletroquímica;
Fabricação de pares termoelétricos integrados utilizando deposição eletroquímica;
Fabricação de nanofios para detecção de hidrogênio;
Fabricação de diodos Schotky para detecção de infravermelho;
Nano-oxidação do silício e fabricação de nanofios para sensoriamento de espécies.
As atividades mencionadas anteriormente já viabilizaram, até o presente momento, diversas publicações nacionais e internacionais. As pesquisas vêm sendo financiadas com recursos do CNPq, FAPESP e Institutos do Milênio. Além da formação de recursos humanos, este grupo vem contribuindo decisivamente para a ampliação da infraestrutura do LSI/EPUSP, destacando-se com a compra e instalação de um microscópio de força atômica (AFM), a manutenção dos equipamentos de processamento térmico rápido (RTP) e fluorescência de raios X em ângulo rasante (TXRF), o desenvolvimento de técnicas de limpeza, oxidação, silicetação e deposição; compra de sistemas para caracterização de processos eletroquímicos, dentre outros. Ainda, cabe destacar que como resultado do desenvolvimento de processos de eletrodeposição em colaboração a UFSC, foi construído um radiômetro para aplicações industriais como parte das atividades de um projeto PADCT.

Linhas de Pesquisa

  • Materiais e Processos para Microeletrônica
  • Dispositivos MOS
  • Sensores Químicos
  • Nanoestruturas

Pesquisadores

  • Nair Stem
  • Ronaldo Willian Reis
  • Sebastiao Gomes dos Santos Filho
  • Victor Sonnenberg
  • Willian Aurélio Nogueira

 

Contato

Prof. Dr. Sebastião Gomes dos Santos Filho
sgsantos@lsi.usp.br