Infraestrutura Multiusuária
O LAMINA, em sua essência, é um laboratório multiusuário atendendo às mais diversas necessidades de pesquisadores da Escola Politécnica e de outras unidades da USP e de fora dela.
A grande equipe de técnicos e especialistas com vasta qualificação em processos de micro e nano eletrônica garante o funcionamento do laboratório e de seus equipamentos, assim como treina possíveis usuários (alunos de iniciação científica, mestrado, doutorado e pesquisadores).
Por se tratar de processos muitas vezes complexos que utilizam insumos caros em equipamentos extremamente caros, o acesso ao laboratório é feito através dos técnicos e especialistas, sob a supervisão de professores e do coordenador do laboratório. A coordenação analisa as necessidades do projeto e define a forma de utilização da sala limpa e dos equipamentos. Em projetos pontuais, os técnicos da sala limpa realizam o(s) processo(s) necessários. Para estudos mais demorados e aprofundados, os técnicos treinam os alunos/pesquisadores para operarem os equipamentos. Dependendo do equipamentos, os próprios técnicos realizam o processo, com acompanhamento do aluno/pesquisador.
Para acesso multiusuário do LAMINA preencha o formulário.
Disponibilizamos para a comunidade a ampla infraestrutura do LAMINA e seus equipamentos listado abaixo:
Equipamento | Fabricante | Modelo |
Forno de difusão de 6 bocas | Thermco Products | Ranger 3000 |
Magnetron | Balzers | BA5450 |
Primeira redutora | David W. Mann Co. | 1503 |
Foto-repetidora | David W. Mann Co. | – |
Perfilômetro Alpha Step 500 | Tencor | AS-500 |
Máquina de solda | West Bond Inc. | 7400A |
Microscópio Nikon | Nikon | AFX-DX |
Spinner | SCS | P6204-A |
Equipamento de corrosão por plasma | Plasma Technology | Plamalab TTL |
Fotoalinhadora de máscaras | Karl Suss | MJB-3 |
Fotoalinhadora de máscaras | Microtech | 2025 |
Evaporador térmico | Edwards | – |
Evaporador térmico | Varian | IG10 |
Pattern Generator | – | – |
Elecron Beam | Balzers | BAE 370 |
Sputtering | Balzers | – |
Reator PECVD | Fabricação própria | – |
Reator PECVD | Fabricação própria | – |
Sputtering | Fabricação própria | Kurt-Lesker |
FTIR | BIORAD | FTS-40 |
Bancada óptica e acessórios | Newport | Newport |
Raman | Witec | Alpha R300 |
Politriz | Struers | Tegarin-25 |
Secadora de Ponto Crítico | Quorum | K850 WM |
Spinner | Speciality Coating Sys | 6800 Spin Coater Series |
Microfresa | LPKF | S62 |
Microposicionador | Cascade | EPS150MMW |
Vector Network Analyzer até 26.5 GHz | Hewlett Packard | HP 8510C |
Vector Network Analyzer até 40 GHz | Hewlett Packard | HP 8722D |
Scalar Network Analyzer até 50 GHz | Hewlett Packard | HP 9757D |
Synthesized Sweeper 10MHz – 50GHz | Hewlett Packard | HP 83650L |
Synthesized Sweeper 10MHz – 20GHz | Hewlett Packard | HP 8341B |
Spectrum Analyzer 100MHz – 22GHz | Hewlett Packard | HP 8565A |
Spectrum Analyzer up to 50 GHz | Hewlett Packard | HP 8565E |
Semiconductors Parameter Analyzer | Hewlett Packard | HP 4145B |
Semiconductors Parameter Analyzer | Hewlett Packard | HP 4156A |
Digital Sampling Oscilloscope / TDR | Tektronix | 11801B |
Multi Frequency – LCR meter | Hewlett Packard | HP 4275A |
Noise Figure Meter | Hewlett Packard | HP 8970B |
Power Meter | Hewlett Packard | HP 436A |
Estação de Retrabalho SMD | TOYO | TS – 850 |
Base Aquecida para Retrabalho | TOYO | TS – 853 |
RF Generators up to 50 GHz | Hewlett Packard | |
PNA até 70 GHz | Keysight | N5227B |
VNA extension modules 70-110 GHz | OLM | V10VNA2 |
Sistema de caracterização de antenas | Fabricação própria | 50-70 GHz |
Forno de difusão e LPCVD | Thermco Products | MB80 |
Forno LPCVD | Thermco Products | MB80 |
Equipamento de corrosão por plasma RIE | Fabricação própria | – |
Evaporador térmico | Edwards | Auto 306 |
Fotoalinhadora de máscaras | Electronic Visions | AL 4-2 |
Fotoalinhadora de máscaras | VEB Elektromat | R349 |
Forno de recozimento térmico rápido | AG Associates | Heat Pulse 410 |
Reator PECVD | Fabricação própria | – |
Sputtering | Fabricação própria | – |
Spinner | Specialty Coating Sys. | SCS6712D |
Reator PECVD | Fabricação própria | – |
Equipamento de corrosão por plasma ICP-2 | Fabricação própria | – |
Microfresa | Protomat | CH-100 |
Estampadora de pastas de filmes espessos | AMI | AMI465 |
Traçador de curvas | Tektronix | 370A |
Estereoscópio | Karl Zeiss | Citoval 2 |
Medidor de espessura confocal | Keyence | LT8010 |
Bancada óptica e acessórios | Newport | Newport |
Perfilômetro | Veeco-Sloan | Dektak 3030 |
Elipsômetro | Rudolph | AutoEl NIR-3 |
Difratômetro de raios X | FP | FP-URD6 |
Microscópio Eletrônico de varredura | Philips | SEM 515 |
Microscópio de força atômica | Digital Instruments | Nanoscope E |
ProtoLaser – fresa a laser | LPKF | U3 |
Pick-and- Place | LPKF | Protoplace S |
Forno de refluxo | LPKF | ProtoFlow |
Litografia direta à laser | Duhram | MicroWriter MCL3 |