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LAMINA – Laboratório de Micro e Nano Eletrônica Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
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Infraestrutura Multiusuária

O LAMINA, em sua essência, é um laboratório multiusuário atendendo às mais diversas necessidades de pesquisadores da Escola Politécnica e de outras unidades da USP e de fora dela.

A grande equipe de técnicos e especialistas com vasta qualificação em processos de micro e nano eletrônica garante o funcionamento do laboratório e de seus equipamentos, assim como treina possíveis usuários (alunos de iniciação científica, mestrado, doutorado e pesquisadores).

Por se tratar de processos muitas vezes complexos que utilizam insumos caros em equipamentos extremamente caros, o acesso ao laboratório é feito através dos técnicos e especialistas, sob a supervisão de professores e do coordenador do laboratório. A coordenação analisa as necessidades do projeto e define a forma de utilização da sala limpa e dos equipamentos. Em projetos pontuais, os técnicos da sala limpa realizam o(s) processo(s) necessários. Para estudos mais demorados e aprofundados, os técnicos treinam os alunos/pesquisadores para operarem os equipamentos. Dependendo do equipamentos, os próprios técnicos realizam o processo, com acompanhamento do aluno/pesquisador.

Para acesso multiusuário do LAMINA preencha o formulário.

Disponibilizamos para a comunidade a ampla infraestrutura do LAMINA e seus equipamentos listado abaixo:

Equipamento Fabricante Modelo
Forno de difusão de 6 bocas Thermco Products Ranger 3000
Magnetron Balzers BA5450
Primeira redutora David W. Mann Co. 1503
Foto-repetidora David W. Mann Co.
Perfilômetro Alpha Step 500 Tencor AS-500
Máquina de solda West Bond Inc. 7400A
Microscópio Nikon Nikon AFX-DX
Spinner SCS P6204-A
Equipamento de corrosão por plasma Plasma Technology Plamalab TTL
Fotoalinhadora de máscaras Karl Suss MJB-3
Fotoalinhadora de máscaras Microtech 2025
Evaporador térmico Edwards
Evaporador térmico Varian IG10
Pattern Generator
Elecron Beam Balzers BAE 370
Sputtering Balzers
Reator PECVD Fabricação própria
Reator PECVD Fabricação própria
Sputtering Fabricação própria Kurt-Lesker
FTIR BIORAD FTS-40
Bancada óptica e acessórios Newport Newport
Raman Witec Alpha R300
Politriz Struers Tegarin-25
Secadora de Ponto Crítico Quorum K850 WM
Spinner Speciality Coating Sys 6800 Spin Coater Series
Microfresa LPKF S62
Microposicionador Cascade EPS150MMW
Vector Network Analyzer até 26.5 GHz Hewlett Packard HP 8510C
Vector Network Analyzer até 40 GHz Hewlett Packard HP 8722D
Scalar Network Analyzer até 50 GHz Hewlett Packard HP 9757D
Synthesized Sweeper 10MHz – 50GHz Hewlett Packard HP 83650L
Synthesized Sweeper 10MHz – 20GHz Hewlett Packard HP 8341B
Spectrum Analyzer 100MHz – 22GHz Hewlett Packard HP 8565A
Spectrum Analyzer up to 50 GHz Hewlett Packard HP 8565E
Semiconductors Parameter Analyzer Hewlett Packard HP 4145B
Semiconductors Parameter Analyzer Hewlett Packard HP 4156A
Digital Sampling Oscilloscope / TDR Tektronix 11801B
Multi Frequency – LCR meter Hewlett Packard HP 4275A
Noise Figure Meter Hewlett Packard HP 8970B
Power Meter Hewlett Packard HP 436A
Estação de Retrabalho SMD TOYO TS – 850
Base Aquecida para Retrabalho TOYO TS – 853
RF Generators up to 50 GHz Hewlett Packard  
PNA até 70 GHz Keysight N5227B
VNA extension modules 70-110 GHz OLM V10VNA2
Sistema de caracterização de antenas Fabricação própria 50-70 GHz
Forno de difusão e LPCVD Thermco Products MB80
Forno LPCVD Thermco Products MB80
Equipamento de corrosão por plasma RIE Fabricação própria
Evaporador térmico Edwards Auto 306
Fotoalinhadora de máscaras Electronic Visions AL 4-2
Fotoalinhadora de máscaras VEB Elektromat R349
Forno de recozimento térmico rápido AG Associates Heat Pulse 410
Reator PECVD Fabricação própria
Sputtering Fabricação própria
Spinner Specialty Coating Sys. SCS6712D
Reator PECVD Fabricação própria
Equipamento de corrosão por plasma ICP-2 Fabricação própria
Microfresa Protomat CH-100
Estampadora de pastas de filmes espessos AMI AMI465
Traçador de curvas Tektronix 370A
Estereoscópio Karl Zeiss Citoval 2
Medidor de espessura confocal Keyence LT8010
Bancada óptica e acessórios Newport Newport
Perfilômetro Veeco-Sloan Dektak 3030
Elipsômetro Rudolph AutoEl NIR-3
Difratômetro de raios X FP FP-URD6
Microscópio Eletrônico de varredura Philips SEM 515
Microscópio de força atômica Digital Instruments Nanoscope E
ProtoLaser – fresa a laser LPKF U3
Pick-and- Place LPKF Protoplace S
Forno de refluxo LPKF ProtoFlow
Litografia direta à laser Duhram MicroWriter MCL3