Tecnologias Avançadas de Gravação para Nano-, Micro- e Meso-Sistemas

Coordenador: Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra

 

Linhas de Pesquisa

• Litografia
• Corrosão por plasma
• Mesofabricação de dispositivos
• Microlaboratórios autônomos
• Aprendizagem personalizada

Contato

Prof.Dr. Antonio Carlos Seabra

antonio.seabra@lsi.usp.br