Os dispositivos micro-electro-mecânicos ou MEMS (Microelectromechanical systems) é uma nova tecnologia de dispositivos microscópicos, que tem pequenas partes mecânicas acionadas por movimentos. Alguns sensores são feitos destes dispositivos como por exemplo acelerômetro, girometro (velocidade angular – rate gyro) e magnetômetro.
Veja como funcionam os MEMS de acelerômetro, girometro e magnetômetro:
Girômetro de anel oscilatorio
Girômetro laser (Sagnac Interferometer effect)